歐姆龍OMRON區(qū)域傳感器，OMRON

保護(hù)電路  電源逆接保護(hù)，輸出短路保護(hù)，降低相互干涉功能（異常周波轉(zhuǎn)換開關(guān)型）
應(yīng)答速度  12ms以下  6ms以下
使用環(huán)境照明  受光面照明度白熾燈：3,000lx以下，太陽光：10,000lx以下  
周圍溫度  動(dòng)作時(shí)：-10～+55℃、保存時(shí)：-40～+70℃ （不結(jié)冰、結(jié)露）
周圍濕度  動(dòng)作時(shí)：35～95％RH保存時(shí)：35～95％RH （不結(jié)露）
緣阻抗  20MΩ以上（DC500V兆歐表）
耐電壓  AC1,000V 50/60Hz 1min  
振動(dòng)（耐久）   10～55Hz 復(fù)振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
沖擊（耐久）   500m/s2 X、Y、Z各方向 3次  
保護(hù)構(gòu)造  IEC規(guī)格 IP62
連接方式  導(dǎo)線引出式（標(biāo)準(zhǔn)線長3m）  接插件型  導(dǎo)線引出式 （標(biāo)準(zhǔn)線長3m）

區(qū)域傳感器是指能感受(或響應(yīng))規(guī)定的被測量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用信號(hào)輸出的器件或裝置稱為區(qū)域傳感器。傳感器通常由直接響應(yīng)于被測量的敏感元件和產(chǎn)生可用信號(hào)輸出的轉(zhuǎn)換元件以及相應(yīng)的電子線路所組成。 能對區(qū)域信號(hào)進(jìn)行采集的傳感器稱為區(qū)域傳感器。

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂

光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調(diào)光方式

傳感器發(fā)生異常時(shí)，可推測停機(jī)的異常原因，因此可在確定異常部位及處理方法的狀態(tài)下前往現(xiàn)場，從而在短時(shí)間內(nèi)恢復(fù)裝置的運(yùn)行。此外，斷線檢測除了輸出線外，還可無條件檢測電源線。

對于難以檢測的工件（曲面、光澤、鑄件表面），在設(shè)計(jì)/啟動(dòng)時(shí)的誤檢測需要重新選定傳感器或調(diào)整設(shè)置。E3AS系列不受曲面、光澤、鑄件表面的影響，可穩(wěn)定檢測，縮短設(shè)計(jì)/啟動(dòng)時(shí)間

檢測低反射率薄工件時(shí)，可能無法檢測出工件與背景間的段差，導(dǎo)致無法穩(wěn)定檢測。 E3AS-HL則不易受材質(zhì)和顏色影響，能夠檢測出段差。

檢測距離會(huì)因工件的材質(zhì)和顏色發(fā)生變化，導(dǎo)致無法穩(wěn)定檢測。E3AS-HL則不易受材質(zhì)和顏色影響，無需為每個(gè)工件調(diào)整傳感器。

在新設(shè)計(jì)和設(shè)備改造的時(shí)候，由于傳感器的設(shè)置制約，設(shè)備復(fù)雜化，有時(shí)需要設(shè)計(jì)工數(shù)。使用E3AS系列，擴(kuò)大傳感器的可設(shè)置場所，削減設(shè)計(jì)、啟動(dòng)工數(shù)。

傳感器外殼采用不銹鋼（SUS316L），并以歐姆龍的“不同材質(zhì)激光熔接技術(shù)"提高了不銹鋼和樹脂的附著力和密封性。

歐姆龍OMRON區(qū)域傳感器，OMRON